2月17日，微纳科学与分析测试协同创新中心（简称“微纳中心”）与自旋芯片与技术全国重点实验室（简称“自旋芯片全国重点实验室”）在北航杭州国际校园正式揭牌，启动首台核心设备入场调试工作，标志着实验室落地余杭实体化建设进入全新阶段。

微纳中心与自旋芯片全国重点实验室同规划、同建设、强耦合，将服务国家重大战略需求、服务区域经济发展，培养集成电路等方向紧缺人才，解决集成电路“卡脖子”问题，建设国际一流的自旋芯片创新团队，建成国内领先、以自旋芯片为特色的微纳科学与分析测试公共创新平台，具备10纳米尺寸图形化能力、单原子层精度材料生长及刻蚀能力、皮秒级超快表征测试能力、8英寸可扩展晶圆加工能力。

实验室按照“4+2+2”的科研组织架构，将打造自旋芯片材料与物理、自旋存储与存算器件、自旋芯片工艺与集成、自旋芯片表征与设备的4个研究团队，建设自旋芯片特色工艺和自旋芯片特色测试2个公共平台，打造自旋芯片国际合作和自旋芯片校企合作2个协同创新中心。通过整合资源和优化布局，实验室将推动学科、团队和平台的协同发展，创新体制机制，发挥其在创新、人才培养、国际交流、成果转化等方面的作用。同时，实验室将瞄准学科交叉前沿，搭建新平台、引进新团队、培育新成果，推动产业发展，助力科技自立自强。

近年来，实验室先后攻克3项“卡脖子”技术，研制多个“首台套”集成电路设备，在后摩尔时代集成电路技术方面取得多项原创性成果，承担国家级重大项目200余项，在Nature、Science等期刊发表论文19篇。

实验室成果的落地转化，有力推动了余杭区相关产业发展。致真精密仪器公司和致真精密设备公司是其中的典型代表。致真精密仪器公司目前已完成低温超导磁场探针台、全开放强磁场低温光学平台及科研型高频磁场探针台等多款产品的研制和产业化，服务了包括中国科学技术大学、复旦大学、中国科学院空天信息研究院等多家科研单位。2024年，杭州公司营收超1800万元，累计融资1.45亿元，还拿下了中国仪器仪表学会技术发明奖一等奖等多项荣誉。

致真精密设备（杭州）有限公司与自旋芯片全国重点实验室团队合作开展12英寸集成电路薄膜装备的研发与产业化。未来，杭州公司将聚焦于8寸及12寸高端集成电路装备的研发、生产和制造，预计落地后三年实现营收超2000万元，完成规上工业企业申报。

余杭区科技局相关负责人表示，下一步，余杭区将与北京航空航天大学国际创新学院、天目山实验室合力建设环北航创新生态圈，强化创新策源、国际合作、成果转化、孵化载体、产业集群、人才生态、品牌示范等全方位支撑，以高能级科创平台牵动高质量发展，携手科创平台共攀高峰。

来源 | 创新余杭